SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• 압력 : 2.0kgf~7.5kgf

SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• 압력 : 2.0kgf~7.5kgf

전해조 및 중화조

• Size : 6000 × 8000 × 5000 / 각
• 용량 : 192,000ℓ / 각

정류기

• 용량 : 12V × 10,000A × 3

순수제조기

• 용량 : 18MΩ·cm

건조로1

• Size : 6000 × 8000 × 6150
• 온도 : 100°C

건조로2

• Size : 8000 × 8000 × 6000
• 온도 : 200°C

정밀세정실

IC 분석기 (ECO IC)